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東莞市同進(jìn)電器科技有限公司是一家專(zhuān)注于金屬精密蝕刻企業(yè),自成立以來(lái)一直致力于蝕刻產(chǎn)品加工,研發(fā),以及后工序完善的配套工序。公司擁有20000平米生產(chǎn)基地,十七多年的精密蝕刻加工經(jīng)驗,先后取得ISO9001,IATF16949等認證。產(chǎn)品廣泛應用電器、精密五金、通訊產(chǎn)品、汽車(chē)零件、裝飾板、醫療器械、石油化工、實(shí)驗科研、應用元件等行業(yè)等各個(gè)領(lǐng)域,公司工藝集蝕刻、沖壓、焊接、CNC,電鍍電泳噴油PVD等綜合工藝于一體,使客戶(hù)得到一站式服務(wù)。
蝕刻是一種利用化學(xué)強酸腐蝕、機械拋光對物體表面進(jìn)行處理的技術(shù)。除了增強美感之外,它還增加了對象的附加值。從傳統的金屬加工到再到醫療設備制造,都在蝕刻技術(shù)的應用范圍之內。那么,接下來(lái)同進(jìn)蝕刻跟大家聊聊:什么是金屬蝕刻?蝕刻技術(shù)的類(lèi)型有哪些?
一、什么是金屬蝕刻?
金屬蝕刻是一種通過(guò)化學(xué)反應或物理沖擊去除金屬材料的技術(shù)。金屬蝕刻技術(shù)可分為濕蝕刻和干蝕刻。金屬蝕刻由一系列化學(xué)過(guò)程組成。不同的蝕刻劑對不同的金屬材料具有不同的腐蝕特性和強度。
金屬蝕刻又稱(chēng)光化學(xué)蝕刻,是指在金屬蝕刻過(guò)程中經(jīng)過(guò)曝光、制版、顯影,與化學(xué)溶液接觸后,去除金屬蝕刻區的保護膜,以達到溶解腐蝕、形成凸點(diǎn)、或挖空。最早用于制造銅板、鋅板等印刷凹凸板,廣泛用于減輕儀表板的重量,或加工銘牌等薄型工件。經(jīng)過(guò)技術(shù)和工藝設備的不斷改進(jìn),蝕刻技術(shù)現已應用于航空、機械、化工、半導體制造工藝,進(jìn)行電子薄件精密金屬蝕刻產(chǎn)品的加工。
二、蝕刻技術(shù)的類(lèi)型
1.濕蝕刻:
濕法蝕刻是將晶圓浸入合適的化學(xué)溶液中,或將化學(xué)溶液噴射到晶圓上進(jìn)行淬火,通過(guò)溶液與被蝕刻物體的化學(xué)反應去除薄膜表面的原子,從而達到蝕刻的目的.進(jìn)行濕法刻蝕時(shí),溶液中的反應物首先通過(guò)停滯邊界層擴散,然后到達晶片表面,發(fā)生化學(xué)反應,產(chǎn)生各種產(chǎn)物。蝕刻化學(xué)反應的產(chǎn)物是液相或氣相產(chǎn)物,然后這些產(chǎn)物通過(guò)邊界層擴散并溶解到主溶液中。濕法蝕刻不僅會(huì )在垂直方向蝕刻,還會(huì )有水平蝕刻效果。
2.干蝕刻:
干蝕刻通常是等離子蝕刻或化學(xué)蝕刻的一種。由于蝕刻效果的不同,等離子體中離子的物理原子、活性自由基的化學(xué)反應以及器件(晶圓)的表面原子,或兩者的結合,包括以下內容:
物理蝕刻:濺射蝕刻、離子束蝕刻
化學(xué)蝕刻:等離子蝕刻
物理化學(xué)復合蝕刻:反應離子蝕刻(RIE)
干蝕刻是一種各向異性蝕刻,具有良好的方向性,但選擇性比濕蝕刻差。在等離子體蝕刻中,等離子體是一種部分離解的氣體,氣體分子被離解成電子、離子和其他具有高化學(xué)活性的物質(zhì)。干蝕刻最大的優(yōu)點(diǎn)是“各向異性蝕刻”。然而,(自由基)干蝕刻的選擇性低于濕蝕刻。這是因為干蝕刻的蝕刻機理是物理相互作用;因此,離子的沖擊不僅可以去除蝕刻膜,還可以去除光刻膠掩模。
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